一種鉬鈮合金濺射靶材的制備工藝
2023-09-27
（1）將鉬粉和鈮粉（純度均為≥99 .95%，粒徑分別為15μm和30μm）按照重量比為9:1的比例裝入球磨機中，然后加入硬脂酸、棕櫚酸和氧化鋯磨球（粒徑3mm），在氬氣保護下進行球磨，所述的球磨時間為120min，球磨轉(zhuǎn)速為1000r/min，過篩，分離得到粒徑為5μm鉬鈮合金復合粉末；所述硬脂酸、棕櫚酸和氧化鋯磨球的重量分別為鉬粉和鈮粉總重量的0 .01倍、0 .01倍、15倍；
（2）將鉬鈮合金復合粉末置于真空爐中升溫至400℃熱處理30min，接著進行冷等靜壓成型，冷等靜壓的壓力為220MPa，保壓時間為8min，得到壓制毛坯；
（3）將壓制毛坯在真空燒結(jié)爐中進行燒結(jié)成型，燒結(jié)溫度為2100℃，燒結(jié)時間6 h，得到靶材毛坯；
（4）將靶材毛坯經(jīng)過機械加工得到產(chǎn)品鉬鈮合金濺射靶材，鉬鈮合金濺射靶材為單一物相組織，組織均勻無孔洞（參見圖5），平均晶粒尺寸40μm，密度9 .89g/cm3。[0028] 本發(fā)明步驟（2）鉬鈮合金復合粉末冷等靜壓之前還置于真空爐中熱處理，過程控制劑的去除徹底，有利于后續(xù)冷等靜壓壓制成型。
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